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真空泵在真空體系中所承擔的作業(yè)任務

發(fā)布時間: 2020-09-17 瀏覽量: 4056

因為各種真空泵的功能除均能滿足對容器進行抽真空的共同點之外,尚具有不同之處。因此在選用時必須明確泵在真空體系中所承擔的作業(yè)任務是十分重要的,泵在各種不同作業(yè)領域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個方面

1)在體系中做主泵

所謂主泵就是對真空體系被抽容器直接進行抽真空,以取得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。

2)粗抽泵

粗抽泵是指從大氣壓開端下降真空體系壓強到達另一抽氣體系可以開端作業(yè)的真空泵。

3)前級泵

前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強保持在其最高許可的前級壓強以下的真空泵

4)保持泵

保持泵是指當真空體系抽氣很小時,不能有用的使用主要前級泵。為此,在真空體系中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來保持主泵的正常作業(yè)或保持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。

5)粗真空泵或低真空泵

粗、低真空泵是指從大氣開始,降低被抽容器的壓強后作業(yè)在低真空或粗真空壓強范圍內(nèi)的真空泵。

6)高真空泵

高真空泵是指在高真空規(guī)模作業(yè)的真空泵。

7)超高真空泵

超高真空泵是指在超高真空規(guī)模作業(yè)的真空泵。

8)增壓泵

增壓泵通常指作業(yè)在低真空泵和高真空泵之間,用以提高抽氣體系在中間壓強范圍的抽氣量或下降前級泵抽氣速率要求的真空泵。



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